小型真空高温烧结炉主要技术参数

1.额定功率：18KW

2.加热方式：石墨

3.额定温度： 2000℃

4.工作区尺寸：Ф80×100 mm

5.冷态极限真空度：6.67×10-3 Pa

6、控温元件：钨套管钨铼热电偶

7、控温范围: 室温-2000℃

注：如果（设定工艺要求）使用温度不超过2000℃时，可一直使用钨套管钨铼热电偶测温，如果（设定的工艺）要求超过2000℃时，建议在1500℃时设定自动退出，防止在高温下退出热电偶造成损坏！

8、温度控制精度: ≤ ±1 ℃

9.电源电压：380V 50HZ

10.充气压力（微正压）：≤ 0.03 MPA

小型真空高温烧结炉设备特点

1、集控制柜与炉体一体化结构，结构紧凑占地小，移动方便，可靠性高等特点。

2、设备采用底部装料，电动升降方式。

3、耗水量少，仅用1寸管就能满足冷却要求。

4、炉壳为全不锈钢双层水冷结构，不易结水垢，内层为304不锈钢严格抛光处理，外层304不锈钢，中间通水冷却。炉侧装有水冷电极、监测热电偶、观察孔等。

5、壳体、真空管道采用数控自动焊机焊接加工，焊缝光滑平整无虚焊夹现象发生，我公司采用国内进的氦质谱真空检漏仪进行压升率检测，可保证技术指标的可信和准确，确保真空容器不会漏气，满足客户技术要求。炉壳、炉盖等内表面均经精密抛光，光洁度优于Δ6。

主要结构：

炉盖：炉盖采用双层不锈钢（SUS304）水夹层封头结构，与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉门上设有冷却水进出口、压力表，放气阀等快接接口。

炉体:炉体采用双层不锈钢（SUS304）水夹层架构，与上、下法兰组焊成筒形结构，上下法兰平面上开设有燕尾型密封槽，采用O型硅橡胶密封圈密封。炉内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉体侧面设有冷却水进出口、真空抽气口、加热电极接口，红外测温接口等。

炉底:炉底采用双层不锈钢（SUS304）水夹层平板结构，与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光，外壁拉丝处理。法兰平面开设有燕尾型密封槽，采用O型硅橡胶密封圈密封。

炉架：炉架采用型材焊接作为骨架，并配合数控钣金，组合成一个整体，作为整个设备的基础。同时，一体式设计整齐美观，操作方便。

加热及隔热系统：加热采用高纯石墨作发热体，纯度高，无挥发，有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维软毡，保温效果好，耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定，便于安装与维护。

温度控制采用钨套管热电偶直接控温测温。同时，在隔热屏外设置一支监控热电偶，监控隔热屏外温度，提高设备的安全使用性能。

真空系统：真空系统采用2X-30旋片式机械泵配压差阀的方式，另配有真空阀、充气阀、放气阀、真空压力表、真空测量规管等，真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动，真空度的测量由睿宝数显真空计执行。

充放气系统：本设备配置一路充放气系统，由流量计、电磁阀、手阀、、接头等组成，可对炉内气氛压力进行控制。手阀可以根据实际情况，适当调整气体流量。排出的气体客户可结合实际情况进行处理。

水冷装置：水冷系统由进出水总管道、阀门及各支路组成。冷却水由总进水总管进入后，经过各支管送到炉门、炉体、炉底、水冷电极、真空泵、冷阱等这些需要冷却水的地方，然后汇总到出水总管排出。总进水管路设有电接点压力表，具有断水声光报警并切断电源功能。各支路水管采用透明塑胶软管，通过不锈钢接头联接进出水总管道及设备各进出水口。每路冷却水进水管都装有手动阀门，可手动调节水流量大小。

控制系统：控制加热系统有可控硅调压器+低压高流大功率变压器+测温装置，组成闭环控制系统，温度仪表采用程序仪表带PID自动调节功能，带自整定自我调整能力。稳定可靠，控制精度高。设备整体配有操作模拟屏，控制系统的操作都集中在上面，直观明了，操作简单可靠。控制系统集中安放在炉架的一侧箱体内，整结大方，维修方便，所有器件均采用施耐德，西门子等，保证使用安全。控制箱柜上都有安全警示贴，安装接线标准化制作。