真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
真空熱處理不僅可實現鋼件的無氧化、無脫碳，而且還可以實現生產的無污染和工件的少畸變，因而它還屬于清潔和精密生產技術范疇。
小型真空熱處理爐適用于高速鋼、不銹鋼、模具鋼等一些淬透性比較好的材料的真空熱處理，特點是零件變形量小、零件熱處理后不需要清洗。不足之處有淬火氣體不能回收、成本較高。真空高壓氣淬爐從結構上可分為臥式和立式兩種。臥式可分為單室、雙室和三室等。
小型真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。同時，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完成。在這樣迅速的條件來完成許多動作，是很容易造成操作人員的緊張而構成誤操作。因此，只有較高的自動化才能準確、及時按程序協調動。
熱處理爐根據零件材料可選擇中高溫和低溫，（中高溫800℃～1350℃、低溫800℃）。
